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廠商基本資訊
Tender Scientific Co., Ltd
國家: 台灣
城市: Kaohsiung City 802
地址: 3F.-2, No.372, Zhongzheng 1st Rd., Lingya Dist.
TEL: +886-7-7225117
傳真: +886-7-7232465
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首頁 » 產品目錄 » 晶圓爐

成立於1982年,投標科學一直致力於為科學實驗室裝備了30多年。我們幾個世界領先製造商的製造商,代理商和分銷商。我們廣泛的產品範圍包括盒/管/真空爐,爐(真空),篩分儀,工作管,冷水機組,及循環浴。我們的目標是為客戶提供最優質的產品,合理的價格和最好的服務。
晶圓爐
晶圓爐 - RTP-100 Front loading
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編號: RTP-100 Front loading
規範:
1.一種用於單個晶片高達100毫米(4“)或100毫米×100毫米基板尺寸
2.蓋容易多變的石英玻璃工藝室
3.集成氣體入口和出口
4.1質量流量控制器為氮(5 NLM =每分鐘標準升)是默認
5. 18紅外燈加熱(20千瓦)
6.頂部和底部加熱
7.真空外部泵系統(高達10exp-3毫巴,時間長達10exp-6毫巴:看到的RTP-100-HV))
8. SPS控制器,SIMATIC
9.以太網接口
10. 7“觸摸屏更易於編程和過程控制
11.最大。溫度1200℃
12.熱電偶溫度控制
13.需要水冷卻
14.電力:CEE 3x32 A,230 V,3相+ N,20千瓦
需要水冷:15.冷卻
16.尺寸:503點¯x525點¯x570毫米(寬x深x高)
17.體重:70公斤
【品牌:UNITEMP /德語】




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