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厂商基本信息
Tender Scientific Co., Ltd
国家: 台湾
城市: Kaohsiung City 802
地址: 3F.-2, No.372, Zhongzheng 1st Rd., Lingya Dist.
TEL: +886-7-7225117
传真: +886-7-7232465
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首页 » 产品目录 » 晶圆炉

成立于1982年,投标科学一直致力于为科学实验室装备了30多年。我们几个世界领先制造商的制造商,代理商和分销商。我们广泛的产品范围包括盒/管/真空炉,炉(真空),筛分仪,工作管,冷水机组,及循环浴。我们的目标是为客户提供最优质的产品,合理的价格和最好的服务。
晶圆炉
晶圆炉 - RTP-100 Front loading
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编号: RTP-100 Front loading
规范:
1.一种用于单个晶片高达100毫米(4“)或100毫米×100毫米基板尺寸
2.盖容易多变的石英玻璃工艺室
3.集成气体入口和出口
4.1质量流量控制器为氮(5 NLM =每分钟标准升)是默认
5. 18红外灯加热(20千瓦)
6.顶部和底部加热
7.真空外部泵系统(高达10exp-3毫巴,时间长达10exp-6毫巴:看到的RTP-100-HV))
8. SPS控制器,SIMATIC
9.以太网接口
10. 7“触摸屏更易于编程和过程控制
11.最大。温度1200℃
12.热电偶温度控制
13.需要水冷却
14.电力:CEE 3x32 A,230 V,3相+ N,20千瓦
需要水冷:15.冷却
16.尺寸:503点¯x525点¯x570毫米(宽x深x高)
17.体重:70公斤
【品牌:UNITEMP /德语】




网上展厅: 74 产品