विशिष्टता:
1. 100 मिमी (4 ") या 100 मिमी x 100 मिमी आकार सब्सट्रेट करने के लिए एकल वेफर अप के लिए
2. एकीकृत गैस में और आउटलेट के साथ
3. नाइट्रोजन के लिए 1 जन प्रवाह नियंत्रक (5 एनएलएम = प्रति मिनट के आदर्श लीटर) डिफ़ॉल्ट है
4. 18 इन्फ्रारेड लैंप से गर्म (20 किलोवाट)
5. वैक्यूम अप 10exp-से 6 एचपीए (turbomolecular पंप और निर्वात माप शामिल भंडार। किसी न किसी तरह पंप)
6. मैक्स। तापमान 1200 डिग्री सेल्सियस
thermocouple द्वारा 7. तापमान नियंत्रण
8. पानी ठंडा करने की आवश्यकता
9. बिजली: सीईई 3x32 ए, 230 वी, 3 चरण, + N, 20 किलोवाट
10 आयाम: 505 x 504 x 670 मिमी (डब्ल्यू एक्स एच एक्स डी)
11. वजन: लगभग। 70 किलो
12. अच्छी सेवा
13. कृपया हमें अधिक जानकारी के लिए मेल
14. प्रयोगशाला और अनुसंधान विभाग के लिए उपयुक्त
【ब्रांड: UNITEMP / जर्मन】