Especificación:
1. sola oblea de hasta 100 mm (4 ") o 100 mm x 100 mm Tamaño del sustrato
2. integrada con entradas de gas y la salida
3. 1 controlador de flujo másico de nitrógeno (5 NLM = litros por minuto norma) es por defecto
4. calentado por 18 lámparas de infrarrojos (20 kW)
5. vacío hasta 10exp-6 hPa (bomba de vacío turbomolecular y medición incluye, excl. La bomba de pre)
6. Max. temperatura de 1200 ° C
7. Control de temperatura por termopar
8. El agua de refrigeración necesaria
9. Electricidad: CEE 3x32 A, 230 V, 3 fases, + N, 20 kW
10. Dimensiones: 505 x 504 x 670 mm (W x H x D)
11. Peso: aprox. 70 kg
12. Un buen servicio
13. Favor enviar por correo para más detalles
14. Conveniente para el departamento de laboratorio e investigación
【Marca: Unitemp / GERMAN】